本站音问，凭据天眼查APP数据泄露高华科技（688539）新赢得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS电容式温湿度集成传感器及制备秩序”，专利苦求号为CN202311692634.3，授权日为2024年12月3日。

专利纲领：本公开的彭胀例提供一种MEMS电容式温湿度集成传感器及制备秩序，传感器包括：体硅层，开垦有承接其厚度的下空腔；轮番层叠开垦于体硅层的埋氧层、器件层、第一介质层和第一电极层；温度明锐层，开垦于下空腔内，且位于第一介质层和第一电极层之间；其中，上述五者对应下空腔的部分共同酿成悬臂梁；结构层和金属填充层，结构层开垦于第一介质层的上名义，结构层设有承接起厚度的上空腔，上空腔与下空腔位置对应且连通；金属填充层离别诱惑引线层和第一电极层；第二电极层，开垦于悬臂梁上的第一电极层上方的上空腔；开垦于结构层上的引线层、第二介质层和第三电极层；引线层和第二介质层位于第三电极层和结构层之间；湿度明锐层，填充于填充空间内。

本年以来高华科技新赢得专利授权18个，较客岁同时增多了260%。协调公司2024年中报财务数据，本年上半年公司在研发方面插足了2965.39万元，同比增58.94%。

数据泉源：天眼查APP

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